美国MicroSense，LLC，前身为ADE Technologies，由四大主要业务组成——晶圆几何计量系统、电容传感器、振动样品磁力计和用于磁性测量的磁光克尔效应（MOKE）工具。MicroSense为许多行业提供服务，包括半导体制造、数据存储、机床、太阳能、汽车和高亮度LED。MicroSense凭借丰富的商业经验、财务实力、全球支持和技术地位，为客户提供价值和安全保障。MicroSense于2019年2月22日被KLA公司收购。
MicroSense的电容传感器业务由Robert C.Abbe于1967年创立，开始是ADE公司的一部分。ADE公司以其富有远见和新颖的高分辨率非接触测量方法而闻名，适用于要求苛刻的尺寸测量应用。随着时间的推移，ADE发展成为裸半导体晶片测量工具供应商。用于位置和位移测量的高分辨率电容式传感器（也称为“电容计”）成为“ADE”和我们的商标名称“MicroSense”的代名词。
MicroSense提供基于电容传感技术的电容传感器和OEM计量模块，对太阳能晶片、蓝宝石晶片、硬盘驱动器电机、空气轴承主轴、X-Y工作台、光盘、汽车零部件和机床等产品进行非常准确、高带宽的测量。我们的电容式位移传感器提供了业界高的分辨率，小于0.05纳米，稳定性和更长的使用寿命。
MicroSense主要产品：
电容式传感器
太阳能晶片厚度计量
振动样品磁强计（VSM）
磁性计量学
尺寸晶圆计量系统
主要型号：
MicroSense 4800 Series、MicroSense 8800 Series、MicroSense 5800 Series、MicroSense 6800 Series、MicroSense Mini、MicroSense 6360、MicroSense SpinCheck、PV-6060、EZ VSM、Polar Kerr、KerrMapper、DiskMapper H8、UltraMap-C200、UltraMap-APBP、UltraMap-200B、6504-01、6504-01、6501、6502、6503、6620-LR
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