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产品介绍
精确的平行运动
Max.200µm的运动范围
无机械间隙
容易与其他压电系统结合
精密销孔，可精确调节
高动态范围
可用于光纤定位、二维扫描系统、光束对准、半导体、微操作
平行四边形构造的固态铰链提供平行运动，而在x和y方向上没有机械间隙。这些构造原理得到非常高的分辨率，远远超过了机械和机电定位系统的分辨率。压电定位器PXY 200系列可以轻松安装到其他定位系统，并可以配备克服磁滞效应的测量设备（应变仪）。动态操作是可能的，PXY 200压电元件非常适合解决扫描问题。
产品参数
轴：X，Y
开环运动（±10％）/闭环运动（±0.2％）：200 /-µm
每轴电容（±20％）：5.2µF
分辨率（开/闭环）：0.4 /- nm
谐振频率x / y（空载）：350/350 Hz
推/拉力
X轴：max. 130/13 N
Y轴：130/13 N
刚度x / y ：0.65 / 0.65 N /μm
电压范围：-20…130V
电缆长度：1 m
温度范围：-20°C…+ 80°C
材料：铝/不锈钢
尺寸（长x宽x高）：70x70x25 mm
中心孔径（直径）：28 mm
重量：350 g
津公网安备12010102000950号