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产品介绍
软电晕预电离
高压固态脉冲发生器
激光头体积<3l
TMC（全金属陶瓷）容器
集成真空泵和卤素过滤器
风冷/可选液冷，主动热管理
RS-485，RS232，USB和光纤接口，用于系统集成
可冲洗光学支架
能量稳定模式
新一代紧凑型风冷，高重复频率的准分子激光器，专为中低占空比应用而设计。
产品参数
|
气体介质 |
F2 |
ArF |
KrF |
XeCl |
XeF |
|
波长 nm |
157 |
193 |
248 |
308 |
351 |
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高压开关技术 |
固态开关 |
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重复率max. Hz |
1 |
10 |
15 |
8 |
7 |
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脉冲能量max. mJ |
0.5 |
4.0 |
6.5 |
3.0 |
2.5 |
|
平均功率max. W |
500 |
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脉冲持续时间 ns |
5-8 |
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光束尺寸（V x H） mm |
4 x 6 |
||||
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光束发散角（V x H）mrad |
1 x 2 |
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|
能量稳定性（标准偏差）% |
< 3 |
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尺寸（长x宽x高）mm |
540 x 470 x 370 |
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重量 kg |
60 |
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冷却 |
冷却空气/可选液体 |
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电源要求 |
230 VAC / 6,3 A / 1相/ 50-60 Hz |
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津公网安备12010102000950号