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快速，精确，准确地测量小样本和大样本
315毫米x 315毫米大扫描区域
用户友好的概念
复杂的分析和自动化软件
CT 300是一种非接触轮廓仪，具有315 mm的x，y运动系统。它可以处理12英寸的晶圆或其他大型基板和零件。使用彩色白光传感器和高达20 kHz的数据采集速率，可以将检查时间减至最少。共聚焦显微镜和3D白光干涉仪传感器在低至0.1 nm的z方向上提供了无与伦比的分辨率。利用多传感器技术，可以同时安装多个传感器头，包括用于测量晶圆厚度的红外干涉仪。
典型的应用是印刷过程的分析和质量控制，例如PV太阳能电池，基板材料的进料检查，各种基板上的厚膜测量，浆料仓库，环氧膜，点或其他印刷和印刷的体积测量。分配的功能。 高轮廓物体的几何形状和位置测量（如焊料凸块，微透镜和MEMS器件）以及平面度和共面性分析是其他受欢迎的应用。由于CT 300在整个行程中保持高精度，因此可以快速而精确地检查较大的零件，例如晶片，垫片或玻璃镜片。
系统控制器：包括运动控制，传感器控制器（2 kHz），电源，工作站的USB接口
工作站电脑：查询当前规格，22英寸宽屏显示器
连接：以太网，DVD驱动器，USB（正面和背面），并行端口，键盘，鼠标，DVI和模拟视频输出
电源要求：100-240V AC，50-60 Hz，2安培（240 V），5安培（100 V）
工作温度：20°-30°C（68–86 F）
测量表面尺寸：400 x 400 [mm]（16 x 16 [in]）
线性编码器分辨率：0.05μm（2μin）
横向分辨率：min.1微米
X和Y的行程限制（电动）：315 x 315 [mm]（12 x 12 [in]）
Z的行程限制（手动）：50 mm（2in）（可调节至100 mm）
机动化的Z轴行程：100 mm，分辨率0.1 µm
平台上的负载：max.10 kg
可用的传感器：
共焦白光传感器
共焦激光传感器
激光三角测量传感器
干涉仪（白光和红外）
尺寸（长X宽X高）：900 x 1040 x 1600 [mm]
站立式工作站（35 x 41 x 63 [in]）
重量：400 kg (880 lbs)
津公网安备12010102000950号