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产品介绍
TESCAN S9000G是一种镓FIB-SEM系统，旨在进行先进的超薄TEM样品制备和其他具有挑战性的制造任务，这些任务需要分辨率以及新的离子光学和加工能力。TESCAN S9000G采用Triglav SEM柱，具有高分辨率和优异的性能，改进了束内检测系统，具有过滤电子信号收集功能，为新的对比度和增强的表面灵敏度打开了窗口。TESCAN S9000G配备Orage FIB柱，不仅在制造精度方面达到高标准，而且可以使用高离子束电流；从而使进行大体积样品分析成为可能。此外，高达100nA的高离子束电流能够以优异的对比度对生物样本和材料进行特定位置的大体积FIB-SEM断层扫描。TESCAN S9000G由新的Essence软件接口控制，该接口具有易于学习、面向应用和可定制的布局，以及具有样品制备自动化功能的软件模块。所有功能都旨在轻松实现控制和大吞吐量。
性能特点
- 优异的样品制备质量
- 大限度地制备各类样品
- 更充分的利用离子束
- 更加优异的成像能力
- 快速三维分析功能
- 增强的表面灵敏度、衬度
技术参数
- 产地：捷克
- 电子光学：
- 电子光学：配备三透镜复合TriLens物镜的Triglav柱
- 电子枪：高亮度肖特基发射极
- 最大视野：
- WD Analytical 5 mm时为4.3 mm WD 30 mm时为7.0 mm
- 电子束能量：使用BDT选项，200 eV至30 keV/降至50 eV
- 探针电流：2 pA至400 nA
- 离子光学：
- 离子柱：Orage Ga-FIB柱
- 离子枪：Ga液态金属离子源
- 离子束能量：0.5 keV至30 keV
- 探针电流：<1 pA至100 nA
- 分辨率：30keV时＜2.5 nm（在SEM-FIB重合点）
- SEM-FIB角度：55°
产品应用
- 半导体器件的物理失效分析
- 生物标本的FIB-SEM断层扫描
产品参数
津公网安备12010102000950号