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ATL准分子激光器ATLEX-500-I

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  • 品牌名称:ATL
  • 规格型号:ATLEX-500-I
产品介绍

软电晕预电离

高压固态脉冲发生器

激光头体积<3l

TMC(全金属陶瓷)容器

集成真空泵和卤素过滤器

风冷/可选液冷,主动热管理

RS-485,RS232,USB和光纤接口,用于系统集成

可冲洗光学支架

能量稳定模式

新一代紧凑型风冷,高重复频率的准分子激光器,专为中低占空比应用而设计。

产品参数

气体介质

F2

ArF

KrF

XeCl

XeF

波长 nm

157

193

248

308

351

高压开关技术

固态开关

重复率max. Hz

1

10

15

8

7

脉冲能量max. mJ

0.5

4.0

6.5

3.0

2.5

平均功率max. W

500

脉冲持续时间 ns

5-8

光束尺寸(V x H) mm

4 x 6

光束发散角(V x H)mrad

1 x 2

能量稳定性(标准偏差)%

< 3

尺寸(长x宽x高)mm

540 x 470 x 370

重量 kg

60

冷却

冷却空气/可选液体

电源要求

230 VAC / 6,3 A / 1相/ 50-60 Hz

 

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