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ATL Lasertechnik紫外线光源ATLEX-S

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产品介绍

超紧凑的尺寸

软电晕预电离

高压固态脉冲发生器

激光头体积<3l

TMC(全金属陶瓷)容器

集成真空泵和卤素过滤器

完全风冷,主动热管理

RS-485,RS232,USB和光纤接口,用于系统集成

可冲洗光学支架

能量稳定模式

ATLEX-S系列激光是一种非常紧凑的紫外光源,专为中低占空比S应用而设计。

产品参数

气体介质

ArF

KrF

波长 nm

193

248

高压开关技术

固态开关

固态开关

重复率max. Hz

300

500

300

500

脉冲能量max. mJ

10

10

15

15

平均功率max. W

2.4

4

4

6

脉冲持续时间 ns

5-8

光束尺寸(V x H) mm

4 x 6

光束发散角(V x H)mrad

1 x 2

能量稳定性(标准偏差)%

< 3

尺寸(长x宽x高)mm

630 x 400 x 300

重量 kg

65

冷却

空气

电源要求

230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz

 

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