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aixACCT双光束激光干涉仪aixDBLI

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  • 品牌名称:aixACCT
  • 规格型号:aixDBLI
产品介绍

机电大信号应变和极化测量。

压电小信号系数和介电常数与直流偏置电压的关系。如果已知刚度值,则可以使用附加的aixPlorer软件工具从这些值得出耦合系数。

电气和机电性能疲劳。

作为电气薄膜测试的创新者,aixACCT Systems已将公认的双光束技术扩展到可商用的双光束激光干涉仪系统,该系统可进行长达8英寸的晶圆表征。用于测量d33的双光束激光干涉仪(aixDBLI)可提供经过验证的精度(x切割石英),可达0.2 pm / V。该系统的主要特点是单次测量的采集时间极短,仅为几秒钟。基于新的数据采集算法,测量速度提高了100倍。这使得比较了以相同激励频率记录的薄膜的电气和机械数据。由于差分测量原理,消除了样品弯曲的影响,这是使用原子力显微镜(AFM)进行此类测量的主要障碍。

产品参数

分辨率:1 pm通过x-cut Quartz测试

位移/应变测量:

50 Hz-5 kHz

100 mV至10 V

Max.25 V(可选)

压电d33系数:

偏压(1 mHz至1 Hz):100 mV至10 V

Max.25 V(可选)

小信号(1 kHz至10 kHz):100 mV至10 V

电致伸缩M33:与d33相似

C(V)测量:

偏压(1 mHz至1 Hz):100 mV至10 V

Max.25 V(可选)

小信号(1 kHz至10 kHz):100 mV至10 V

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