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NIL Technology紧凑型纳米压印工具CNI v3.0

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产品介绍

CNI v3.0是桌面压印工具,易于复制微米级结构,可用的腔室可支持多到100毫米晶圆或200毫米晶圆。CNI是一种用于压印和热压花的桌面尺寸工具。它允许微结构从母版复制到基底。CNI工具可以执行热复制和紫外线复制。CNI工具是压印的良好起点,但它也支持成熟和先进的开发工作。CNI工具操作简单,功能强大,便于非标准流程和新实验。

性能特点
  • 台式压印工具
  • UV NIL@365 nm(或405 nm–自定义选项)
  • 压印压力从0.3bar到11bar
  • 真空压印(1mbar)
  • 坚固且易于使用
  • 手动装载和卸载印章和基板
  • 自动过程控制
  • 易于操作的软件界面
技术参数
  • 产地:丹麦
  • 压力:压印压力为0.3-11bar过压
  • 温度:
  • 最高200ºC,可控制+/-1ºC
  • 最高250ºC,带高温选项
  • 紫外线照射:波长为365和/或405 nm的紫外光,在120 mm的腔室中光功率为12 W,在210 mm的腔室约为100 mW/cm2或57 W,约为165 mW/cm2。
  • 真空:压印室可以抽空至约1mbar的压力
  • 是否进口:是
  • 应用:广泛
  • 封装:厂家制定
  • 性能:良好
  • 可靠性:高
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